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怎么快速熱退火?金屬熱處理工藝
發布時間:2022-03-17 文章來源:本站  瀏覽次數:180
 眾所周知,熱退火在工業上制造機械,具體一定的重要性,許多大廠都很在意安全出產這塊的,畢竟是一個高溫情況下出產產品的區域,今日我們就來說說這方面的相關事宜。
 
怎么快速熱退火?金屬熱處理工藝
 
  怎么快速熱退火?金屬熱處理工藝
 
  熱退火工藝供給了一種用于加工基材的辦法,所述辦法包含:供給具有外表的基材;供給共聚物組合物,所述共聚物組合物包含:聚(苯乙烯)-b-聚(硅氧烷)嵌段共聚物組分,其間聚(苯乙烯 )-b-聚(硅氧烷)嵌段共聚物組分的數均分子量是5到1,000kg / mol;抗氧化劑,其間共聚物組合物包含>2wt%的抗氧化劑,根據嵌段共聚物組分的分量 ;施加上述共聚物組合物的薄膜到基材外表;任選地,烘焙上述薄膜;經過在240到35C℃ 和包含> 20wt%02的氣體氣氛下加熱薄膜1秒鐘到4小時來退火上述薄膜;處理上述退火薄膜以從退火薄膜中除去聚(苯乙烯)嵌段和將退火薄膜中的聚(硅氧烷)嵌段轉換成SiOx。
 
  作為一種新式的光刻技能越來越遭到人們的關注
 
  在定向自拼裝中的使用:近兩年來,嵌段共聚物定向自拼裝( DSA, Directed Self-Assembly of BlockCopolymer)光刻技能作為一種新式的光刻技能越來越遭到人們的關注。其原理與之前所敘述的幾種技能有很大不同,是利用嵌段共聚物在熱退火或溶劑退火等條件下分相構成納米結構,以構成的納米結構作為模板對襯底進行刻蝕完成圖形化的一種技能。
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